8인치 웨이퍼 검사 현미경 (Compact Type)

8인치 웨이퍼 검사 현미경 & 높이 측정 유닛 포함

JNO-WHP86FBX : 8인치 웨이퍼 검사판 ( OLYMPUS BX53M 사용가능 )

JNO-MHU : 단차 또는 높이 측정 유닛

BX53M : OLYMPUS 산업현미경

OLYMPUS(EVIDENT)의 BX53은 Y축의 구동범위는 4인치까지이기 때문에 8인치 웨이퍼를 검사 하기 어렵습니다. 8인치 웨이퍼를 관찰하기 위해서는 X축과 Y축 모두 8inch(20㎝) 구동할 수 있는 고가의 대형 현미경을 구입해야합니다.

하지만, JNO-WHP86FBX는 8인치 웨이퍼를 전면적을 검사 할 수 있도록 기능을 확장 할 수 있는 유닛입니다. (Wafer를 회전시키면서 관찰 하면, 8inch Wafer의 모든 면적을 빠짐 없이 검사 할 수 있습니다. )